NAVI Titaniumsinterovani nerđajući čelikje materijal za metalurgiju praha koji može biti porozan ili gust. Napravljen je od prethodno-legiranog nerđajućeg čelika u prahu ili višeslojne mreže od nerđajućeg čelika presovanjem i visoko-sinterovanjem u vakuumu. Kao proizvođač sa potpunim mogućnostima samo-istraživanja i proizvodnje, NAVI Titanium je posvećen pružanju integrisanih rješenja za visoko-pouzdane sinterirane filterske elemente od nehrđajućeg čelika na globalnom tržištu. Od 2008. godine, NAVI Titanium je isporučio filtere od sinteriranog nehrđajućeg čelika za preko 160 industrijskih projekata, koji pokrivaju cirkulaciju poluvodičke CMP suspenzije, isporuku plina ultra-visoke čistoće i farmaceutsku filtraciju u Evropi, jugoistočnoj Aziji i Sjevernoj Americi.
Rješenje NAVI Titanium
NAVI Titanium je duboko uključen u industriju titana više od deset godina, uvijek stoji na čelu sa profesionalnom ekspertizom i osnažujući razvoj industrije s posvećenošću kvalitetu. Ne samo da je akumulirao zrelo proizvodno iskustvo, već je izgradio i kompletan sistem proizvoda i precizne{1}}mogućnosti prilagođavanja na terenu. Brend ide ukorak s globalnim nadogradnjama industrije, kontinuirano iterirajući proizvode, optimizirajući parametre i poboljšavajući performanse kako bi pružio prilagođena visoko{3}}kvalitetna rješenja od titanijuma za kupce u različitim sektorima. Zahvaljujući svojim ključnim prednostima kao što su lagana težina, otpornost na koroziju, visoka čvrstoća, -tolerantnost na visoke temperature i jaka stabilnost, NAVI Titanium je stekao široku prepoznatljivost i primjenu. Tabela ispod objedinjuje sve osnovne informacije NAVI Titanium trenutnih glavnih proizvoda od titanijuma, pokrivajući detaljne specifikacije, parametre veličine, indikatore performansi, karakteristike materijala, primjenjive scenarije i prikladna polja, dajući sveobuhvatan prikaz osnovnih snaga i prilagodljivosti proizvoda.
NAVI Titanium isporučuje po narudžbisinterovani nerđajući čelikkomponente. Proizvodimo limove, diskove, prirubnice i razne dijelove specijalnog{1}}oblika. Proizvedeni metalurgijom praha sa ujednačenom poroznom strukturom, ovi dijelovi imaju stabilnu propusnost, visoku temperaturu i otpornost na koroziju, idealni za filtraciju, difuziju plina, smanjenje buke i aplikacije za ventilaciju.
Aplikacija
Sinterovani nerđajući čelikje porozni metalni materijal formiran visoko-vakuumskim sinterovanjem praha od nehrđajućeg čelika 304/316L u jedan komad. Njegova interno povezana trodimenzionalna mikroporozna struktura omogućava precizno prilagođavanje veličina pora u rasponu od 0,1 do 100 μm. Kombinira jedinstvene prednosti metala, uključujući visoku čvrstoću, otpornost na koroziju, otpornost na visoku-temperaturu, bez osipanja vlakana, mogućnost čišćenja i recikliranja i nisko ispiranje metala.
Filterski elementi od sinterovanog nerđajućeg čelika NAVI Titanium su osnovne komponente filtracije u poluvodičkim sistemima za isporuku plina ultra-visoke-će čistoće. Obično su sinterovani od 316L ultra-visoke-nerđajućeg čelika i podvrgnuti su elektropoliranju i vakuumskoj pasivizaciji kako bi se osigurala površina-bez defekata i spriječilo ispiranje nečistoća. Njihove primarne primjene podijeljene su u trostepeni sistem, koji se sastoji od prednje-prethodne{10}filtracije, srednje{11}}precizne filtracije i završne{12}}filtracije: prednja-filtracija presreće velike čestice nečistoća, rđu i prašinu za zaštitu dolje u toku; srednja{14}}filtracija precizno uklanja čestice submikronske-veličine radi održavanja stabilne čistoće plina; i završna{16}}filtracija je direktno povezana sa procesnom komorom kako bi se osiguralo da plin koji ulazi u proces ispunjava ultra{17}}visoke{{18} standarde čistoće.
Osim toga, za primjene u poluvodičima koje uključuju korozivne specijalne plinove, ovaj proizvod-zahvaljujući svojoj odličnoj otpornosti na halogene, kiseline i alkalije-može stabilno raditi na dugi rok u okruženjima na bazi fluora- i hlora-bez korozije od strane medija i stvaranja sekundarnih nečistoća. U poređenju sa organskim filterskim medijima kao što su PTFE i staklena vlakna, njegova visoka-otpornost na temperaturu, otpornost na starenje i -neisparljiva svojstva čine ga savršeno prikladnim za procese visoko-gasnih procesa, potpuno rješavajući-široku industriju izazov kontaminacije plinom uzrokovanu visokim{{9}položajem organskih materijala temperature de.
Vodič za kupovinu
Kontrola kvaliteta (QC)
NAVI Titanium striktno kontroliše kvalitet tokom celog procesa, a svaka serija proizvoda dolazi sa kompletnim izveštajem o kontroli kvaliteta. Od analize sastava sirovog materijala i ispitivanja mehaničkih performansi do verifikacije otpornosti na koroziju, svi podaci ispitivanja su stvarni i sljedljivi, pružajući pouzdan dokaz kvaliteta za vaš odabir projekta.
|
|
Proces proizvodnje
Izrada je osnovni temelj kvaliteta proizvoda, i to je glavna snaga NAVI Titaniuma u industriji titanijuma više od jedne decenije. U cijelom proizvodnom procesu NAVI Titanium drži se precizne kontrole na svakom koraku, od odabira sirovina, topljenja i kovanja, precizne obrade, finog poliranja, površinske obrade do konačnog oblikovanja. Svaka procedura ima svoj skup zanatskih standarda i operativnih normi kako bi se osiguralo detaljno upravljanje tokom cijelog procesa. Za razliku od standardnih proizvodnih procesa u industriji, možemo fleksibilno prilagoditi proces baziran na prilagođenim potrebama kupaca, optimizirajući strukture proizvoda i parametre performansi kako bi precizno odgovarali zahtjevima materijala za različite-vrhunske aplikacije. Članak u nastavku će dati potpuni pogled na osnovne tehnike izrade, tokove procesa, prednosti i tehničke naglaske cijele NAVI Titanium linije proizvoda, jasno pokazuje kako transformira svaki proizvod završnog materijala do završnog materijala.
|
|
|
|
304 vs 316 vs 316L sinterirani nehrđajući čelik
Porozni materijali od sinterovanog nerđajućeg čelika NAVI Titanium-a, sa svojom strukturom pora koja se može kontrolirati, velikom specifičnom površinom, odličnom mehaničkom čvrstoćom i obradivosti, široko se koriste u distribuciji fluida, tretmanu korozivnih medija, katalitičkim nosačima i drugim aplikacijama. U nastavku smo sastavili ovaj usporedni dokument kako bismo kvantitativno analizirali razlike između sinteriranih nehrđajućih čelika 304, 316 i 316L i njihove stope reakcije korozije u različitim medijskim okruženjima. Takođe objašnjava efekte sastava legure, mikrostrukture i parametara pora na brzinu reakcije, pomažući inženjerima, osoblju za nabavku i osoblju za istraživanje i razvoj da kompletiraju odabir materijala. Podaci ispod su samo za referencu.
| Feature | 304 | 316 | 316L |
| Opća otpornost na koroziju | Dobro | Više | Više |
| Hloridno okruženje | Umjereno | Bolje | Bolje |
| Nisko{0}}ugljična klasa | br | br | Da |
| Razmatranja vezana za{0}}koroziju za zavarivanje | Standard | Standard | Bolje |
| Tipične primjene | Opća industrija | Hemijski/pomorski | Hemijska/poluprovodnička/visoka{0}}čistoća |
U različitim korozivnim medijima i redoks okruženjima, hemijska stabilnost samog materijala direktno određuje njegov vijek trajanja, a 'brzina reakcije korozije' je ključni indikator za odabir materijala. Mnogi kupci često brkaju granice performansi sinteriranih nehrđajućih čelika 304, 316 i 316L: sva tri su austenitni nehrđajući čelici sa sličnim sistemima legure baze, ali razlike u sadržaju ugljika i molibdena mogu značajno promijeniti stabilnost pasivnog filma, što zauzvrat utječe na brzinu reakcije korozije i klorida} u kiseloj{4} visoko{5}}okruženja sa visokim temperaturama.
| Korozivni medij | Srednja koncentracija | Temperatura | 304 brzina korozije mm/g | 316 brzina korozije mm/g | 316L brzina korozije mm/g | Preporučeni izbor |
| Čista voda | Dejonizovana voda | 25 stepeni | ＜0.001 | ＜0.001 | ＜0.001 | 304 Cost First |
| Sirćetna kiselina | 5% | 25 stepeni | 0.002 | 0.001 | 0.001 | 304 |
| Fosforna kiselina | 10% | 25 stepeni | 0.008 | 0.002 | 0.002 | 316/316L |
| Limunska kiselina | 10% | 25 stepeni | 0.003 | 0.0012 | 0.0012 | 304 |
| rastvor natrijum hlorida (slana voda) | 3,5% NaCl (simulirana morska voda) | 25 stepeni | 0.18 (pitting) | 0.022 | 0.020 | 316L |
| Razrijeđena sumporna kiselina | 0,5% H₂SO₄ | 25 stepeni | 0.12 | 0.045 | 0.041 | 316L |
| Natrijum hidroksid (kaustična soda) | 20% NaOH | 80 stepeni | 0.005 | 0.004 | 0.004 | 304 Cost First |
| Natrijum hipohlorit (dezinfekciono sredstvo za hlor) | 0,5% NaClO | 25 stepeni | 0,32 (pitting) | 0.072 | 0.065 | 316L, ima ograničen vijek trajanja |
| Azotna kiselina | 10% HNO₃ | 25 stepeni | 0.004 | 0.005 | 0.005 | 304 |
| Senzibilizirajuće okruženje (održava se na 500~700 stepeni nakon sinterovanja) | Vazduh, vodena para u tragovima | 25 stepeni | 0,35 (intergranularna korozija) | 0,11 (blaga intergranularna korozija) | 0.003 | 316L |
Aplikacija
CMP suspenzija nije jednostavna tečnost, već veoma složen sistem disperzije nanočestica. Tipična CMP suspenzija se obično sastoji od nano-koloidnog silicijum dioksida; nano-cerijum oksid (CeO₂); nano-aluminijum (Al₂O₃); oksidansi (H₂O₂, Fe(NO₃)₃, itd.); pH regulatori; disperzanti; surfaktanti; inhibitori; i ultra čista voda (UPW). Nano-abrazivi su ono što zaista ima efekat mehaničkog poliranja. Njihova veličina čestica je tipično kontrolisana između 20 i 100 nm, a čitav sistem suspenzije mora održavati izuzetno visoku disperzionu stabilnost. Za napredni bakarni CMP, velika većina čestica u suspenziji mora biti koncentrisana u rasponu veličine čestica od 30-60 nm. Ako se čestice počnu aglomerirati, formirajući velike čestice od 300 nm, 500 nm ili čak veće od 1 μm, to će uzrokovati ozbiljnu štetu na površini pločice. Stoga, prava meta CMP filtera nisu normalne abrazivne čestice, već abnormalne čestice koje se kontinuirano stvaraju tokom rada sistema.
Mehanizam formiranja abnormalnih aglomerata
Tokom kontinuiranog rada u fabrici, CMP suspenzija nije statičan sistem već stalno prolazi kroz cirkulaciju, smicanje, promene pritiska i hemijske reakcije. Tokom ovog procesa, nanočestice se mogu postepeno agregirati zbog van der Waalsovih sila, efekata elektrostatičke zaštite ili promjena u hemijskom okruženju, formirajući velike aglomerate mnogo veće od originalnih čestica. Faktori koji utječu na formiranje aglomeracije uključuju -smicanje velikom brzinom od strane cirkulacione pumpe što dovodi do kvara lokalnog disperzanta; produženo vrijeme skladištenja suspenzije što dovodi do smanjene koloidne stabilnosti; promjene temperature koje mijenjaju površinski naboj čestica; povećana koncentracija metalnih jona u kaši koja kompresuje dvostruki električni sloj i izaziva agregaciju čestica; i vazduh koji ulazi u cirkulacijski sistem formirajući mikromehuriće, promovišući premošćivanje čestica.
Iako je ovih aglomerata izuzetno malo, njihova veličina obično doseže stotine nanometara ili čak nekoliko mikrometara. Kada uđu u područje poliranja, zbog svoje mnogo veće veličine od uobičajenih abrazivnih čestica, stvaraju lokalizirane tačke visokog{1}}naprezanja između podloge za poliranje i pločice, što na kraju dovodi do površinskih ogrebotina. Stoga, CMP sistemi filtracije moraju kontinuirano uklanjati ove abnormalne čestice bez narušavanja normalne distribucije veličine čestica nano{3}}abraziva.
Tradicionalne polimerne membrane prvenstveno se oslanjaju na dvodimenzionalne membranske strukture za površinsko zadržavanje. Tokom filtracije, čestice imaju tendenciju da se akumuliraju na površini membrane, formirajući sloj kolača, što dovodi do brzog povećanja razlike tlaka. Nasuprot tome, NAVI titanijumsinterovani nerđajući čelikkoristi trodimenzionalnu međusobno povezanu mikroporoznu strukturu. Njegovi unutrašnji kanali su međusobno povezani, omogućavajući česticama ne samo da se zadrže na površini, već se i postepeno distribuiraju duž dubine kanala, postižući tipičnu dubinu filtracije. Ova metoda filtracije nudi nekoliko značajnih prednosti. Prvo, nano{4}}mulj teče jednoliko kroz cijelu mrežu pora, sprječavajući formiranje lokaliziranih -brzinskih zona ribanja i smanjujući abrazivno habanje na filtarskom mediju. Drugo, veće aglomerirane čestice se prvenstveno zadržavaju na ulazima u kanale, dok normalne nanočestice mogu glatko proći kroz njih, čime se značajno ne mijenja raspodjela veličine čestica suspenzije.
Treće, budući da su zagađivači raspoređeni po cijelom sloju filtera, a ne koncentrirani na površini, veća količina zagađivača može se smjestiti po jedinici filtracijske površine, produžavajući vijek trajanja filtera. Konačno, ovaj proizvod posjeduje visoku mehaničku čvrstoću, što mu omogućava da izdrži povratno ispiranje na mreži. Zadržane čestice se uklanjaju obrnutim protokom tečnosti, što omogućava ponovnu upotrebu uloška filtera bez česte zamene.
Karakteristike primjene u bakru CMP
Bakar CMP je ključni korak u Damascene (damascene interconnect) procesu. Njegov cilj je ukloniti bakrene prevlake uz zadržavanje bakrenog punjenja u rovovima i prolazima. Zbog visoke duktilnosti i niske tvrdoće bakra, on je podložan lokaliziranom mehaničkom naprezanju tokom CMP-a, što čini stanje čestica suspenzije posebno važnim za stabilnost procesa. Bakar CMP kaša obično koristi koloidni silicijum kao primarni abraziv, sa veličinom čestica koja je generalno kontrolisana između 30 i 80 nm, i dopunjena su hemijskim aditivima kao što su vodikov peroksid i benzotriazol (BTA) za regulaciju oksidacije i inhibicije korozije na površini bakra. Primarni zadatak sinteriranih nehrđajućih filtera u bakrenom CMP-u je uklanjanje abnormalnih čestica nekoliko puta veće od normalne veličine abrazivnih čestica, umjesto da presretnu sve čestice.
Ako je veličina pora filtera premala, ona će zarobiti veliku količinu normalnog abraziva, mijenjajući sastav kaše i smanjujući efikasnost uklanjanja materijala; ako je veličina pora prevelika, ne može efikasno ukloniti aglomerirane čestice. Zbog toga industrijske primjene obično koriste gradijentne strukture filtracije, omogućavajući kaši da progresivno uklanja zagađivače različitih veličina u različitim fazama filtracije uz održavanje relativno stabilne koncentracije nano-abrazivnih čestica. Druga ključna funkcija je kontrola abrazivnih metalnih čestica. Pumpe, ventili i cijevi u bakarnim CMP cirkulacionim sistemima su izloženi dugotrajnom-toku abrazivnog gnojiva, oslobađajući tragove metalnih ostataka. Ove čestice su obično tvrđe od površine bakra i lako stvaraju duboke ogrebotine tokom poliranja.Sinterovani nerđajući čelik, sa svojom stabilnom trodimenzionalnom poroznom strukturom-, može efikasno uhvatiti ove metalne ostatke tokom dužih perioda bez promjene veličine pora zbog abrazivnog udara velike brzine-.
Zahtjevi za filtriranje u Tungsten CMP
Tungsten CMP se prvenstveno koristi za obradu volframovih utikača u kontaktnim utikačima i ravnim interkonekcijama. U poređenju sa bakrom, volfram je tvrđi, a proces uklanjanja se uglavnom oslanja na kombinaciju hemijske oksidacije i mehaničkog mlevenja. Stoga se oksidansi i abrazivi visoke{2}}vrste obično dodaju u suspenziju. Volfram CMP filteri moraju izdržati znatno veće nivoe abrazije. Budući da je abrazivna snaga rezanja u suspenziji jača, obični polimerni filteri su skloni proširenju pora ili trošenju membrane nakon dugotrajnog-radnja. Ovaj proizvod, međutim, ima integralni sinterirani metalni kostur, sposoban da izdrži kontinuirano visoko{7}}brzinu i održava tačnost filtracije tokom dugog perioda. Volfram CMP je vrlo osjetljiv na metalne nečistoće.
Ako sam filter ima ostatke od zavarivanja, nedovoljno pasivizirane površine ili precipitaciju metalnih jona, to može uticati na hemijsku reakciju na površini volframa. Stoga, vrhunski-sinterirani nehrđajući filter elementi obično koriste 316L nisko-prašak od nehrđajućeg čelika, koji se podvrgava elektropoliranju i ultračistoj kiselinskoj pasivaciji kako bi se formirao stabilan hrom{4}}obogaćen oksidni film na površini filterskog elementa, smanjujući rizik od taloženja željeza, nikla i drugih elemenata.
Uloga kontrole čestica u STI CMP (Shallow Trench Isolation CMP)
STI (Shallow Trench Isolation) CMP se uglavnom koristi za uklanjanje materijala od silicijum oksida nakon punjenja rova, postižući električnu izolaciju između tranzistora. Pošto STI direktno utiče na kasniju formaciju kapije, njeni zahtevi za kvalitetom planarizacije su izuzetno visoki. STI suspenzije obično koriste nano-cerijum oksid (CeO₂) kao glavni abraziv. Njegove čestice imaju visoku hemijsku aktivnost i mogu sinergijski reagovati sa površinom silicijum dioksida, poboljšavajući efikasnost poliranja. Karakteristika suspenzije cerijevog oksida je da čestice imaju jak površinski naboj, što ih čini sklonim aglomeraciji zbog promjena pH vrijednosti ili koncentracije iona.
Ako aglomerirane čestice uđu u područje poliranja, one ne samo da mogu uzrokovati ogrebotine već i dovesti do prekomjernog-uklanjanja lokaliziranih područja žljebova, uzrokujući odstupanja u dimenzijskoj strukturi izolacijske strukture. Ovaj filter kontinuirano uklanja aglomerate kroz dubinsku filtraciju. Istovremeno, zbog svog ujednačenog unutrašnjeg polja protoka pora, smanjuje lokalno smicanje suspenzije tokom filtracije, pomažući u održavanju disperzije čestica cerijevog oksida. Ovo je važnije za STI CMP od jednostavnog poboljšanja tačnosti filtracije, jer održavanje stabilne abrazivne disperzije direktno poboljšava ujednačenost poliranja.
FAQ
Pri kojem diferencijalnom pritisku treba izvršiti čišćenje? Kada se NAVI Titanium filter element mora zamijeniti?
+
-
Početni diferencijalni pritisak za normalan rad NAVI Titanijum filterskog elementa je 0,02–0,06 MPa; kada diferencijalni pritisak poraste na 0,12–0,25 MPa, preporučuje se da se sistem zaustavi i izvrši regeneraciono čišćenje. Ako, nakon višestrukog čišćenja, diferencijalni tlak ostane iznad 0,35 MPa, protok se kontinuirano smanjuje ili dođe do preciznog curenja, filterski element se mora zamijeniti.
Koji je standardni postupak zamjene NAVI Titanium filterskog elementa?
+
-
Zaustavite sistem i otpustite pritisak → ispraznite medij → rastavite uložak filtera i očistite šupljinu → pregledajte i zamijenite zastarjeli O-prstenovi/brtvila → instalirajte filterski element u skladu sa smjerom protoka → ravnomjerno zategnite završne poklopce dijagonalno → polako povećajte tlak pri niskom tlaku i izvršite probni rad i potvrdite da nema curenja prije formalnog rada.
Vijek trajanja filterskog elementa i standardi odlaganja?
+
-
U čistim radnim uslovima i pravilnom održavanju može se regenerisati 25-35 puta, sa životnim vekom od 3-5 godina. Ako dođe do korozivnih jama, strukturne deformacije, trajnog začepljenja mikropora ili trošenja površine brtve, zamjena je obavezna.
Da li NAVI Titanium sinterirani elementi filtera od nehrđajućeg čelika ispunjavaju ekološke standarde EU?
+
-
Svi su napravljeni od 316L materijala bez hemijskog premaza, ne sadrže SVHC supstance koje izazivaju zabrinutost, u skladu su sa zahtjevima REACH i RoHS i ne ispuštaju metalne jone ili vlakna tokom rada. Certifikati o usklađenosti mogu se dati za fabričke revizije.
Kako treba postupati sa odbačenim NAVI Titanium filterskim elementima?
+
-
Oni su potpuno metalni materijali koji se mogu reciklirati i ne smatraju se opasnim otpadom. Mogu se prikupljati jednolično za pretapanje i recikliranje, ispunjavanje propisa EU o cirkularnoj ekonomiji i olakšavanje kupaca u uspostavljanju evidencije o radu i održavanju okoliša.
Popularni tagovi: sinterirani nehrđajući čelik, Kina sinterirani nehrđajući čelik proizvođači, dobavljači, tvornica, Sinterirani bronzani prigušivač zraka, Sinterovani bronzani lim, Sinterovani metalni prah, Sinterirani nikl filter, Sinterovana cijev od nehrđajućeg čelika, Sinterirani čelični filter
